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为提高清洗效果，清洗机中一般都采用超声波技术，利用超声波振子每秒几万次频率的振动，发出超过人耳可听见的10万们以上的声压。在清洗的情况下超声波在液体中呈放射状，使清洗液体流动而产生大量的真空气泡，这种现象就是空穴作用，由这种空穴作用而产生的液体流动和数以万计的高压真空气泡瞬间爆破时产生的能量，不断地冲击被子清洗物表面，使表面及缝隙中的污垢迅速剥落。
在常压状态下，清洗剂中溶解的空气粒子遇到超声波时产生气泡，超声波的空穴作用会被大幅度衰减，清洗效果被减弱。在真空状态下，清洗剂中的气体会被脱出，从而避免了超声波的衰减。这一效果可以从铝箔实验中得验证：在清洗槽中分别加入未经真空脱气和经过真空脱气的碳氢清洗剂，使用相同功率的超声波对铝箔清洗一分钟，结果未经脱气的清洗剂可见轻微的震动，铝箔基本上无变化。而经过真空脱气的清洗剂剧烈震动，铝箔很快出现许多孔洞。
在传统的清洗中，清洗效果不理想常常是因为盲孔、粗糙表面和细小缝隙中的空气不能排出，影响清洗剂的浸润，产生清洗盲孔。应用真空技术后，可使部件表面、缝隙和盲孔内的空气全部排出，使清洗剂完全浸入工件的每个部位，使工件的各人部位都达到好的清洗效果。对于构造复杂、盲孔较深的工件，通过两次以上的抽真空和排气过程，也可以将空气全部排出。所以在真空状态下，清洗效果要比常压下更好。
卤代烃清洗剂由于沸点低且不可燃，蒸馏再生相对容易，所以，许多卤代烃清洗剂都附带有蒸镏再生装置。而碳氢清洗剂由于沸点高而闪点较低，在常压下蒸镏再生是不可能的。真空清洗干燥机的蒸镏再生装置在高真空下使碳氢清洗剂的沸点降低到80℃使清洗槽中溶解了油污的清洗溶液不断地抽入蒸馏装置，在真空中加热蒸发，再经过冷凝成为清洁溶剂回到清洗槽中，使清洗液始终保持清洁状态。油污则留在蒸馏装置底部，定期排出。
原理是：利用高频电场改变水的分子结构，使其防垢和除垢。当水通过高频电场时，其分子物理结构发生了变化，原来的缔合链状大分wyt_dsry子，断裂成单个水分子，水中盐类的正负离子被单个水分子包围，运动速度降低，有效碰撞次数减少，静电引力下降，无法在受热壁式管面上结构，从而达到防垢目的。同时由于水分子偶极矩增大，使其与盐的正负离子（水垢分子吸合能力增大，使受热面或管壁上的水垢变得松软，容易脱落，产生了除垢的效果。
静电防垢、除垢与电子除垢一样，也是通过改变水分子状态来实现防垢、除垢目的的。只不过后者是利用静电场的作用，而不是电子作用。其机理是水分子具有极性（也称偶极子），当水偶极子通过静电场时，每个水偶极子将按正负有序地连续排列。如水中含有溶解的盐类，其正负离子将被水偶极子包围，也按正负顺序排列于水偶极子群中，不能自己的运动，因而也就不能靠近管（器）壁，并进而沉积于管（器）壁上形成水垢。同时，水中释放的氧，可使管壁产生一层极薄的氧化层，可以防止管（器）壁腐蚀。
设备基础的施工验收由修建部门质量检查员会同土建施工员进行验收，填写施工验收单。基础的施工质量符合基础图和技术要求。设备安装工程的后验收，在设备调试合格后进行。由设备管理部门和工艺技术部门会同其他部门，在安装、检查、安全、使用等各方面有关人员共同参加下进行验收，做出鉴定，填写安装施工质量、精度检验、安全性能、试车运转记录等凭证和验收移交单由参加验收的各方人员签字方可竣工。
清洗系统负责零部件的清洗工作, 是整个清洗机的核心。基于不同原理的通用、、柔性、超声波等清洗机的差别主要体现清洗系统上。清洗系统工艺繁多, 例如喷射类清洗系统根据不同零件以及同一零件各个部位的不同清洗要求, 就有高、低压喷射清洗工艺以及、定位清洗中的插洗、堵洗等工艺。
